Цэнтрабежны паветраны камбінаваны газавы кампрэсар з падвойным асяроддзем, незалежна распрацаваны Шанхайскім навукова-даследчым інстытутам агульнага машынабудавання Kaishan, быў паспяхова адладжаны і ўведзены ў эксплуатацыю ў вядучай сусветнай кампаніі па вытворчасці інтэгральных схем у Цзянсу. Усе параметры адпавядаюць патрабаванням дызайну і заслужылі высокую ацэнку карыстальнікаў.
Як мы ўсе ведаем, сярод васьмі асноўных матэрыялаў у паўправадніковай прамысловасці электронны газ з'яўляецца асноўнай сыравінай пасля крэмнію, на долю якога прыпадае 13,5% кошту матэрыялаў для вытворчасці паўправадніковых пласцін. Электронныя газы шырока выкарыстоўваюцца ў працэсах іоннай імплантацыі, тручэння, паравой фазы, нанясення, легіравання і іншых працэсаў у працэсах вытворчасці электронных вырабаў. Іх называюць «ежай» і «крыніцай» інтэгральных схем, ВК-панэляў, святлодыёдаў, фотаэлектрыкі і іншых матэрыялаў. Прадукцыйнасць электронных паўправадніковых прыбораў цесна звязана з якасцю электронных газаў, і азот высокай чысціні/звышвысокай чысціні з'яўляецца адным з найбольш важных членаў электронных газаў. Ён выкарыстоўваецца ў інэртнай абароне, газ-носьбіт, спецыяльныя газы, выхлапныя газы для прачысткі трубаправодаў, сыравінны газ і тэхналагічны газ незаменныя ў працэсах вытворчасці паўправаднікоў, такіх як развядзенне і плазменная імплантацыя. Цэнтрабежны камбінаваны газавы кампрэсарны блок з падвойным асяроддзем з'яўляецца асноўным абсталяваннем у працэсе вытворчасці азоту высокай чысціні. Гэты тып рынку кампрэсараў даўно манапалізаваны амерыканскімі кампаніямі.
Агрэгат, які паспяхова ўведзены ў эксплуатацыю на гэты раз, з'яўляецца першым айчынным кампрэсарам такога тыпу вытворчасці Kaishan і з цалкам незалежнымі правамі інтэлектуальнай уласнасці. Ён выкарыстоўваецца ў сістэме вытворчасці азоту сусветна вядомай газавай кампаніі з спісу Fortune 500. Гэта таксама першы раз, калі гэтая кампанія супрацоўнічае з кітайскімі вытворцамі кампрэсараў. Паспяховая праца значна павысіла канкурэнтаздольнасць на рынку сістэмы падрыхтоўкі азоту высокай чысціні кампаніі. Гэта вынік чатырохгадовых сумесных намаганняў абодвух бакоў.
У той жа час таксама была завершана работа па адладцы двух камплектаў паветранага кампрэсара гэтага тыпу, які выкарыстоўваецца ў айчынных сістэмах падрыхтоўкі азоту высокай чысціні. Усе параметры адпавядаюць праектным патрабаванням, а некаторыя нават перавышаюць праектныя.
За апошнія два дзесяцігоддзі кампанія Kaishan працягвала інвеставаць значныя сродкі ў асноўныя тэхналогіі і паступова стварала пэўныя тэхналагічныя перавагі ў розных галінах, такіх як шрубы, турбіны, поршневыя кампрэсары, пашыральнікі і вакуумныя помпы. У кантэксце бягучага расце попыту на «лакалізацыі» гэтая тэхналагічная перавага дазваляе нашым кітайскім карыстальнікам не толькі не ахвяраваць якасцю неабходнага абсталявання з-за «лакалізацыі», але і атрымаць пасля «лакалізацыі» больш надзейнае абсталяванне. Якасць прадукцыі і меншае спажыванне энергіі. Для нашых міжнародных карыстальнікаў яны лічаць, што кітайскае абсталяванне, прадстаўленае Kaishan, прынесла ім большую карысць. Паспяховая праца гэтага цэнтрабежнага камбінаванага паветранага кампрэсара з двума асяроддзем - толькі невялікі прыклад гэтых слоў.
Час публікацыі: 25 кастрычніка 2023 г
